晶圆缺陷光学检测设备-宁波舜宇仪器有限公司

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AWL系列半导体晶圆缺陷检测/国产晶圆搬运机是由高精度光学检测显微镜搭载全自动晶圆搬运系统组成，支持4-12寸的晶圆尺寸，可轻松实现多角度、全视野的宏观检查、以及晶圆微观细节的高清捕捉，可对半导体过程工艺中的关键参数、缺陷问题进行有效监控，是晶圆来料检测和工艺控制流程缺陷分析的高效利器。

更新日期：2025-11-28

型号：AWL系列

厂商性质：生产厂家

AWL046型晶圆缺陷光学检测设备(半导体晶圆缺陷检测)是由高精度光学检测显微镜搭载全自动晶圆搬运系统组成。设备兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查一个晶圆在经过一系列复杂工序后最终变成多个IC单元，期间晶圆需要依赖搬运机在处理站之间执行快速、精确的传送作业。

更新日期：2025-11-28

型号：AWL046

厂商性质：生产厂家

AWL068型晶圆缺陷光学检测设备是由高精度光学检测显微镜搭载全自动晶圆搬运系统组成。设备兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查一个晶圆在经过一系列复杂工序后最终变成多个IC单元，期间晶圆需要依赖搬运机在处理站之间执行快速、精确的传送作业。

更新日期：2025-11-28

型号：AWL068

厂商性质：生产厂家

国产晶圆搬运机是由高精度光学检测显微镜搭载全自动晶圆搬运系统组成，设备兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查。

更新日期：2025-11-28

型号：

厂商性质：生产厂家

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