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AWL系列半导体晶圆缺陷检测/国产晶圆搬运机是由高精度光学检测显微镜搭载全自动晶圆搬运系统组成，支持4-12寸的晶圆尺寸，可轻松实现多角度、全视野的宏观检查、以及晶圆微观细节的高清捕捉，可对半导体过程工艺中的关键参数、缺陷问题进行有效监控，是晶圆来料检测和工艺控制流程缺陷分析的高效利器。

更新日期：2025-11-28

型号：AWL系列

厂商性质：生产厂家

AWL046型晶圆缺陷光学检测设备(半导体晶圆缺陷检测)是由高精度光学检测显微镜搭载全自动晶圆搬运系统组成。设备兼具稳定性和安全性，能够安全可靠的传送晶圆，适合于前道到后道工程的晶圆检查一个晶圆在经过一系列复杂工序后最终变成多个IC单元，期间晶圆需要依赖搬运机在处理站之间执行快速、精确的传送作业。

更新日期：2025-11-28

型号：AWL046

厂商性质：生产厂家

MS高精度工具测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力，和影像测量仪的 X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能，具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。

更新日期：2025-11-28

型号：MS系列

厂商性质：生产厂家

MX12R金相显微镜物镜、孔径光阑等采用电动切换模式，操作更加方便快捷，配置12寸超大移动平台，为半导体、FPD 检测提供最佳的应用环境。最大可支持 300mm 晶圆及 17 英寸液晶面板的检查。

更新日期：2025-11-28

型号：MX12R

厂商性质：生产厂家

MX8R金相显微镜采用新照明系统和光学系统，照明均匀，成像清晰。突破性的大金相机架设计，可承载 8英寸超大工作平台，适用于稳固创新的机械结构更好的满足专业市场需求。

更新日期：2025-11-28

型号：MX8R

厂商性质：生产厂家

MX68R正置金相显微镜最大支持200mm晶圆及11英寸液晶面板的检查，含 4、6、8 英寸多种转盘，可适用不同尺寸的晶圆检查。人机工程学设计全面提升，为用户提供更加舒适、灵活、快捷的操作体验。

更新日期：2025-11-28

型号：MX68R

厂商性质：生产厂家

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