高精度工具测量显微镜系列

产品型号：MS系列

简要描述：显微镜系列，MS高精度工具测量显微镜结合了金相显微镜的高倍观察能力，和影像测量仪的 X、Y、Z 轴表面尺寸测量功能，具备明暗场、微分干涉、偏光等多种观察功能。可广泛应用于半导体、PCB、LCD、手机产业链、光通讯、基础电子、模具五金、医疗器械、汽车行业、计量行业等领域的检测。

企业实力
Enterprise Strength
有效保修
Valid Warranty
质量保障
Quality Assurance

PRODUCT CATEGORY

　　舜宇 SOPTOP MS 系列高精度工具测量显微镜：工业精密检测一体化解决方案

　　一、产品概述

　　舜宇仪器作为国内专业光学仪器生产厂商，自主研发推出 MS 系列高精度工具测量显微镜，是一款融合金相显微观测与三维尺寸测量能力的复合型国产精密检测设备。设备打破传统单一检测设备的功能局限，将金相显微镜高倍率微观观察优势、影像测量仪 XYZ 三轴尺寸测量功能合二为一，集成明场、暗场、微分干涉、偏光等多模式观测光路，适配多行业精密零部件外观、形貌、尺寸一体化检测需求。

　　设备搭载行业成熟的无限远校正光学系统，配套长工作距离金相物镜与六孔电动物镜转换器，兼顾大视野观测、超长工作距离测量与超高放大倍率三重需求，面对微小精密元器件、大尺寸工件、高低落差复杂样品都能提供稳定、精准的检测方案，是半导体、电子制造、精密加工、医疗等行业实验室与产线质检的核心设备。

　　二、核心硬件结构与七大核心优势

　　(一)一体化人体工学整机设计

　　MS 系列采用高度集成一体式机身架构，设备工作台整合主机容纳空间，前置可收纳键盘位，X、Y 双轴操作手轮、功能按键布局贴合人体操作习惯，检测人员全程坐姿即可完成全部操作，无需频繁起身调整工位。同时设备支持两种工作台方案自由选配，小型一体式操作台节省实验室空间，大型专用设备桌可承载更多配套外设，企业可根据车间场地、检测批量灵活选择。

　　(二)5°-35° 宽幅可调双目观察筒

　　设备双目观测筒支持 5° 至 35° 倾斜角度无极调节，适配不同身高操作人员，无论是站立快速抽检，还是长时间坐式精细检测，都能调整至舒适观测视角，大幅缓解长期检测带来的颈部疲劳，兼顾产线批量检测与实验室高精度分析两种使用场景。

　　(三)多规格大行程花岗石载物台，支持定制

　　载物台基底采用高精度花岗石材质，稳定性强、不易变形，提供四款标准行程规格：200mm×100mm、300mm×200mm、300mm×300mm、400mm×300mm，从小型芯片、PCB 微元件到大型模具零部件均可平稳放置。针对超大尺寸、异形工件检测需求，厂商还可提供载物台非标定制服务，全覆盖各类样品尺寸检测需求。

　　(四)0.1μm 超高精度三轴测量系统

　　整机搭载分辨率达 0.1 微米的 XYZ 三轴光栅测量系统，Z 轴最大运动行程可达 150mm，可轻松完成高低落差样品的高度、台阶尺寸测量。Z 轴配备机架集成式电动调焦控制器，设置三档调速模式，精细对焦、快速移动自由切换，大幅提升调焦效率，减少长时间检测带来的操作疲劳；配套 SW3000 三轴数显计数器，实时同步显示 X/Y/Z 三轴坐标数值，公英制一键切换，数据读取直观清晰。

　　(五)独立裂像辅助对焦光源，对焦精准高效

　　设备搭载专属独立裂像光源控制系统，可根据样品表面反光、底色差异自由调节光源亮度，快速锁定样品最佳焦平面。内置明衬、暗衬两种裂像对焦图案，一键切换，针对哑光工件、镜面晶圆、金属镀层等不同材质样品，都能快速完成清晰对焦，解决高倍观测下对焦模糊、定位困难的行业痛点。

　　(六)自主研发专业测量软件，智能高效测量

　　配套舜宇自主开发 MS 专用测量软件，操作界面简洁直观，支持用户自定义检测参数、保存专属测试方案。软件与六孔电动物镜转换器联动，可自动识别当前物镜倍率，杜绝人工手动选错倍率造成的尺寸误差；内置点、线、圆、圆弧、距离、角度、面积等全套几何测量工具，面对不规则复杂轮廓、微型精密结构，均可完成微米级高精度尺寸测算，测量数据可实时存储、导出归档，满足质检数据追溯要求。

　　(七)专业金相光学配置，多模式微观观测

　　主机光路搭载标准明场(BF)、暗场(DF)切换模块，搭配长工作距金相物镜与六孔电动转换器，可拓展微分干涉、偏光观测功能。明场用于常规金属、电子元件形貌观察；暗场可凸显样品表面微小划痕、颗粒缺陷；微分干涉清晰呈现样品表面微观凹凸形貌；偏光模式适配晶体、镀层、复合材料内部结构分析，一台设备即可完成多类微观缺陷检测。

　　三、广泛行业应用场景

　　MS 系列工具测量显微镜凭借观测 + 测量一体化能力，覆盖全产业链精密质检场景，主流应用行业包含：

　　半导体与光通讯行业：晶圆、芯片引脚、光纤连接器、精密陶瓷元件外观缺陷与尺寸检测；

　　电子制造产业：PCB 线路板、LCD 显示屏、手机零部件、微型连接器、电池极片微观形貌、孔径、线宽测量；

　　精密五金与模具行业：冲压件、模具型腔、刀具、微小紧固件倒角、台阶、轮廓尺寸检测；

　　医疗器械行业：微型医用金属配件、导管、精密植入件表面瑕疵与几何参数测量；

　　汽车零部件与计量实验室：汽车微型传感器、精密密封件尺寸校验，计量机构标准件精度标定。

　　四、产品基础信息

　　MS 系列高精度工具测量显微镜由宁波舜宇仪器有限公司自主生产，属于国产精密光学检测设备，设备售价面议，最终成交价格根据载物台规格、光路配置、软件配套、工作台选配等需求以商务合同为准。设备上线至今累计浏览量超 9000 次，获得各行业质检实验室、生产车间广泛落地应用，是替代进口工具显微镜的高性价比国产检测方案。

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