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告别“人眼巡线”:晶圆缺陷光学检测设备如何打通全自动质检闭环
告别“人眼巡线”:晶圆缺陷光学检测设备如何打通全自动质检闭环

在7nm及以下节点,人工抽检已成过去式。晶圆厂正在经历的质检革命,不是简单换台更快的光学机,而是用自动搬送、在线扫描与AI判片把检测嵌进量产节拍——从前段曝光后检测(ADI)到出货抽检,晶圆从进机台到出报告全程无人触碰,缺陷数据直接回流工艺控制系统。全流程自动化让质检从“离散抽查...

2026 4-20
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