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从微米到纳米:晶圆缺陷光学检测设备如何推开亚波长极限之门
从微米到纳米:晶圆缺陷光学检测设备如何推开亚波长极限之门

当先进制程逼近3nm节点,芯片上的致命瑕疵往往只有十几个纳米大小——远小于可见光波长,传统光学检测的“视力”已近物理天花板。但这并非终点:新一代晶圆缺陷光学检测设备正通过深紫外(DUV)光源、明暗场融合与计算成像的组合拳,硬生生将灵敏度压入十纳米级。这不是单纯放大图像,而是重构“...

2026 4-17
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