晶圆缺陷光学检测在半导体制造中至关重要,但在实际应用中会遇到诸多细节问题。以下是对这些问题的详细描述:1.照明与成像系统-光源稳定性:光源的稳定性对检测结果影响极大。例如,高强度汞灯或氙灯等光源,其光强若不稳定,会导致照射到晶圆表面的光能量不一致,进而使缺陷散射信号的信噪比波动,影响缺陷的准确判断。-偏振态控制:照明光束的偏振态控制不当会影响缺陷检测效果。不同偏振态的光与晶圆表面缺陷相互作用产生的散射光特性不同,若偏振态不符合要求,可能导致某些缺陷的散射信号较弱甚至无法被检测...
查看详情在现代半导体制造与液晶面板检测领域,对微观结构与细节的精准把控是确保产品质量与性能的关键。舜宇金相显微镜,凭借其杰出的性能与广泛的应用能力,已成为300mm晶圆及17英寸液晶面板检测领域的新目标。舜宇金相显微镜采用了突破性的大金相机架设计,可承载8英寸超大工作平台,并最大支持300mm晶圆及17英寸液晶面板的检查。这一设计不仅满足了大型样品的检测需求,还确保了检测过程中的稳定与精确。同时,该显微镜配备了多种转盘,可适用不同尺寸的晶圆检查,进一步提高了检测的灵活性和适用性。在成...
查看详情在现代科研领域,高分辨率成像技术对于揭示微观世界的奥秘至关重要。结构光照明显微成像系统,作为超分辨率成像技术的杰出者,凭借其杰出的性能和广泛的应用前景,已成为众多科研团队的选择工具。而该系统配备的全电动显微成像平台,更是将科研的精确性和便捷性提升到了新的高度。全电动显微成像平台是结构光照明显微成像系统的重要组成部分,它采用了先进的电动驱动技术,实现了对显微镜的精准控制。这一平台不仅支持多层独立荧光光路,还具备独立光学成像和光学控制功能,使得科研人员在实验操作过程中能够轻松实现...
查看详情近年来,随着科技的不断进步,金相显微镜在材料科学、金属分析、半导体研究等领域的应用愈发广泛。作为这一领域的技术杰出者,舜宇光学推出的新型金相显微镜,凭借其创新的照明系统和光学系统,成功实现了对样品的高精度、高分辨率分析,进一步提升了显微观察的效果和便捷性。1.创新照明系统:在金相显微镜的应用中,照明系统起着至关重要的作用。传统的显微镜通常采用反射光源,这在一定程度上限制了观察样品的光学效果和对比度。而舜宇的则突破了这一传统,通过采用新型的照明系统,极大地改善了样品的可视效果。...
查看详情在现代科学研究和技术发展中,对微观世界的深入探索已成为推动诸多领域进步的关键。结构光照明显微成像系统,作为一种先进的成像技术,正以其特殊的优势,在细胞生物学、材料科学、药学等多个领域发挥着不可替代的作用。结构光照明显微成像系统(StructuredIlluminationMicroscopy,SIM)的基本原理在于,通过特定结构的照明光对样品进行照明,将空间高频信息(对应样品细节)调制到低频信息中,再利用先进的算法进行图像重建,从而实现超越传统光学衍射极限的高分辨率成像。这种...
查看详情随着半导体行业的迅猛发展,集成电路的制造技术越来越趋向微小化和复杂化。在这一过程中,晶圆缺陷的检测与修复成为了保证半导体芯片质量的关键环节。为了应对日益复杂的检测需求,传统的人工检测方式逐渐无法满足高精度和高效率的要求。为此,现代半导体晶圆缺陷检测技术结合了高精度光学检测显微镜与全自动晶圆搬运系统,实现了自动化、高效率、全程高精度的检测流程,成为半导体制造过程中至关重要的组成部分。1.高精度光学检测显微镜:核心检测工具是晶圆缺陷检测系统的核心组成部分。它利用高分辨率的光学成像...
查看详情Copyright©2025 宁波舜宇仪器有限公司版权所有 All Rights Reserved 备案号:浙ICP备2023051240号-1
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